원래 장소:
중국
브랜드 이름:
KACISE
인증:
CE
모델 번호:
KGD-MQ-537
속성 | 값 |
---|---|
감지 원리 | NDIR |
감지 가스 | SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2 |
측정 범위 | 1 - 264ppm (0 - 200mTorr) |
반복성 | ±0.5% |
선형성 | ±1%F.S. |
검출 한계 | 1ppm |
KGD - MQ - 537 적외선 가스 센서는 비분산 적외선(NDIR) 기술을 기반으로 합니다. 반도체 응용 분야에서 생성되는 SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2와 같은 가스를 정확하게 측정할 수 있습니다. 장비 내에서 일반적인 사전 설정 치수, 플랜지 및 통신 프로토콜과 호환됩니다. 반도체 증착 및 세정 공정의 종점 감지, 챔버 세정의 터미널 감지에 사용되어 세정 시간을 줄이고 비용을 절감하며 생산성을 높이는 데 도움이 됩니다.
매개변수 | 세부 정보 |
---|---|
감지 원리 | NDIR |
감지 가스 | SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2 |
측정 범위 | 1 - 264ppm (0 - 200mTorr) |
반복성 | ±0.5% |
선형성 | ±1%F.S. |
검출 한계 | 1ppm |
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