원래 장소:
중국
브랜드 이름:
KACISE
인증:
CE
모델 번호:
KGD-MQ-537
KGD - MQ - 537 적외선 가스 센서
제품 소개
KGD - MQ - 537 적외선 가스 센서는 비분산 적외선 (NDIR) 기술을 기반으로합니다. SiF4, CF4, SF6, NF3,그리고 반도체 응용 분야에서 생성된 CO2. 그것은 장비 내의 일반적인 사전 설정 된 차원, 플랜지 및 통신 프로토콜과 호환됩니다. 그것은 반도체 퇴적 및 청소 프로세스에서 최종 지점 검출에 사용될 수 있습니다.그리고 방 청소를 위한 터미널 검출, 청소 시간을 줄이고 비용을 절감하고 생산량을 증가시키는 데 도움이 됩니다.
제품 특성
기술 매개 변수
매개 변수 | 세부 사항 |
탐지 원칙 | NDIR |
검출 된 가스 | SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2 |
측정 범위 | 1 ~ 264ppm (0 ~ 200mTorr) |
반복 가능성 | ±0.5% |
선형성 | ± 1% F.S. |
탐지 한계 | 1ppm |
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