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KGD-MQ-537 NDIR 적외선 가스 센서, 멀티가스 모니터링 및 반도체 애플리케이션에 대한 1ppm 탐지 제한

KGD-MQ-537 NDIR 적외선 가스 센서, 멀티가스 모니터링 및 반도체 애플리케이션에 대한 1ppm 탐지 제한

높은 선형성 적외선 가스 센서

0 200mTorr 적외선 가스 센서

1 264ppm 적외선 가스 센서

원래 장소:

중국

브랜드 이름:

KACISE

인증:

CE

모델 번호:

KGD-MQ-537

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인용 을 요청 하십시오
제품 세부 정보
Detection Principle:
NDIR
Detected Gases:
SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2
Measuring Range:
1 - 264ppm (0 - 200mTorr)
Repeatability:
±0.5%
Linearity:
±1%F.S.
Detection Limit:
1ppm
강조하다:

높은 선형성 적외선 가스 센서

,

0 200mTorr 적외선 가스 센서

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1 264ppm 적외선 가스 센서

지불 및 배송 조건
최소 주문 수량
1pcs
포장 세부 사항
각 단위는 개별 상자를 가지고 있으며 모든 상자는 표준 패키지 또는 고객의 요청에 의해 제공됩니다.
배달 시간
5~8일
지불 조건
L/C, D/A, D/P, T/T, 웨스턴 유니온, 머니그램
공급 능력
1000개 부분 / 부분마다 교섭할 수 있는 주
제품 설명
KGD-MQ-537 적외선 가스 센서
제품개요
KGD - MQ - 537 적외선 가스 센서

KGD-MQ-537 적외선 가스 센서는 비분산 적외선(NDIR) 기술을 활용하여 반도체 응용 분야에서 SiF4, CF4, SF6, NF3 및 CO2를 포함한 가스를 정확하게 측정합니다. 일반적인 장비 치수, 플랜지 및 통신 프로토콜과 호환되도록 설계된 이 센서는 반도체 증착 및 세척 공정의 끝점 감지는 물론 챔버 청소를 위한 터미널 감지에 이상적이며 세척 시간을 줄이고 비용을 절감하며 생산량을 늘리는 데 도움이 됩니다.

KGD-MQ-537 NDIR 적외선 가스 센서, 멀티가스 모니터링 및 반도체 애플리케이션에 대한 1ppm 탐지 제한 0
주요 특징
  • 다중 가스 모니터링 기능(SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2 등)과 함께 NDIR 기술을 활용합니다.
  • 빠른 응답 시간과 높은 감도
  • 소모품이 필요하지 않습니다.
  • 아날로그/디지털 통신 옵션
  • 쉬운 통합을 위한 모듈형 디자인
기술 사양
매개변수 세부
탐지 원리 NDIR
감지된 가스 SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2
측정 범위 1~264ppm(0~200mTorr)
반복성 ±0.5%
선형성 ±1%FS
검출 한계 1ppm

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