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1 264ppm 0 200mTorr 측정 범위 KGD MQ 537 적외선 가스 센서

1 264ppm 0 200mTorr 측정 범위 KGD MQ 537 적외선 가스 센서

높은 선형성 적외선 가스 센서

0 200mTorr 적외선 가스 센서

1 264ppm 적외선 가스 센서

원래 장소:

중국

브랜드 이름:

KACISE

인증:

CE

모델 번호:

KGD-MQ-537

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인용 을 요청 하십시오
제품 세부 정보
Detection Principle:
NDIR
Detected Gases:
SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2
Measuring Range:
1 - 264ppm (0 - 200mTorr)
Repeatability:
±0.5%
Linearity:
±1%F.S.
Detection Limit:
1ppm
강조하다:

높은 선형성 적외선 가스 센서

,

0 200mTorr 적외선 가스 센서

,

1 264ppm 적외선 가스 센서

지불 및 배송 조건
최소 주문 수량
1pcs
포장 세부 사항
각 단위는 개별 상자를 가지고 있으며 모든 상자는 표준 패키지 또는 고객의 요청에 의해 제공됩니다.
배달 시간
5~8일
지불 조건
L/C, D/A, D/P, T/T, 웨스턴 유니온, 머니그램
공급 능력
1000개 부분 / 부분마다 교섭할 수 있는 주
제품 설명
1 264ppm 0 200mTorr 측정 범위 KGD MQ 537 적외선 가스 센서
속성
감지 원리 NDIR
감지 가스 SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2
측정 범위 1 - 264ppm (0 - 200mTorr)
반복성 ±0.5%
선형성 ±1%F.S.
검출 한계 1ppm
KGD - MQ - 537 적외선 가스 센서
제품 소개

KGD - MQ - 537 적외선 가스 센서는 비분산 적외선(NDIR) 기술을 기반으로 합니다. 반도체 응용 분야에서 생성되는 SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2와 같은 가스를 정확하게 측정할 수 있습니다. 장비 내에서 일반적인 사전 설정 치수, 플랜지 및 통신 프로토콜과 호환됩니다. 반도체 증착 및 세정 공정의 종점 감지, 챔버 세정의 터미널 감지에 사용되어 세정 시간을 줄이고 비용을 절감하며 생산성을 높이는 데 도움이 됩니다.

1 264ppm 0 200mTorr 측정 범위 KGD MQ 537 적외선 가스 센서 0
제품 특징
  • NDIR 기술 사용, 다중 가스 모니터링 지원(SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2 등 포함)
  • 빠른 응답 시간 및 높은 감도
  • 소모품 없음
  • 아날로그/디지털 통신
  • 쉬운 통합을 위한 모듈식 설계
기술 매개변수
매개변수 세부 정보
감지 원리 NDIR
감지 가스 SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2
측정 범위 1 - 264ppm (0 - 200mTorr)
반복성 ±0.5%
선형성 ±1%F.S.
검출 한계 1ppm

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