원래 장소:
중국
브랜드 이름:
KACISE
인증:
CE
모델 번호:
KGD-MQ-537
KGD-MQ-537 적외선 가스 센서는 비분산 적외선(NDIR) 기술을 활용하여 반도체 응용 분야에서 SiF4, CF4, SF6, NF3 및 CO2를 포함한 가스를 정확하게 측정합니다. 일반적인 장비 치수, 플랜지 및 통신 프로토콜과 호환되도록 설계된 이 센서는 반도체 증착 및 세척 공정의 끝점 감지는 물론 챔버 청소를 위한 터미널 감지에 이상적이며 세척 시간을 줄이고 비용을 절감하며 생산량을 늘리는 데 도움이 됩니다.
| 매개변수 | 세부 |
|---|---|
| 탐지 원리 | NDIR |
| 감지된 가스 | SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2 |
| 측정 범위 | 1~264ppm(0~200mTorr) |
| 반복성 | ±0.5% |
| 선형성 | ±1%FS |
| 검출 한계 | 1ppm |
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